Sorgenti di evaporazione

Sorgenti di evaporazione per evaporazione sia termica che a fascio elettronico. Barche, filamenti, crogioli, riscaldatori e rivestimenti per crogioli e-beam. Disponibile in vari materiali e configurazioni.

Micro Evaporation Sources

Thermal Filament Sources

Thermal Rod Sources

Basket Heaters

Crucible Heaters

Crucibles

Boat Sources

Al Coated Sources

Box Sources

Le sorgenti microelettroniche sono una buona opzione per i sistemi con spazio o potenza limitati. Offriamo una linea completa di sorgenti di dimensioni più piccole, in configurazione simile alle nostre sorgenti di evaporazione più grandi. La maggior parte delle sorgenti in questa sezione ha una lunghezza leggermente inferiore a 2,00″ (50,8 mm).

Micro-Electronic Filaments

Filamenti di tungsteno in una varietà di forme e numero di fili.

Micro-Electronic Basket Heaters

Basket in tungsteno di varie forme in cui il materiale va caricato direttamente nel cestello.

Micro-Electronic Basket Crucible Heaters

I crogioli a cestello in tungsteno vengono utilizzati con un crogiolo abbinato.

Micro-Electronic Shielded Crucible Heaters

Gli shielded crucible heaters vengono utilizzati con un crogiolo abbinato per fornire un riscaldamento uniforme.

Micro-Electronic Crucibles

Crogioli da utilizzare nei cestello o nei shielded crucible heaters. Disponibile in una varietà di materiali.

Micro-Electronic Boat Heaters

Boat heaters sono disponibili in una varietà di stili e materiali.

Alumina Coated Micro-Electronic Sources

Il rivestimento in allumina sulle boat heaters fornisce uno strato barriera tra il materiale evaporante e refrattario della boat. Ideale per materiali che reagiscono con i metalli refrattari.

Micro-Electronic Box Sources

Le box heater in tantalio possono essere utilizzate per materiali ad alta pressione di vapore che tendono a schizzare durante l’evaporazione.

I filamenti sono una buona opzione per una fonte di evaporazione termica a basso costo, uso limitato e facile da usare. I filamenti sono spesso utilizzate con fili per un’evaporazione rapida. I filamenti sono disponibili in diverse configurazioni e possono essere singoli o multifilamento.

Thermal Filament Tungsten Coils

Filamenti di tungsteno arrotolati con numero variabile di fili.

Thermal Filament Spiral Heaters

Filamenti a spirale sono una soluzione a bassa potenza quando è necessaria solo una piccola quantità di materiale.

Thermal Filament Point Sources

I filamenti richiedono una bassa potenza e si depositano su un’area limitata.

Le barre di tungsteno cromate sono ideali per strati di deposizione sottili. Sono disponibili anche sorgenti a barre di tungsteno avvolte con filo di tungsteno.

Chrome Plated Tungsten Rods

Tungsten Rods

I basket heaters consentono di caricare il materiale direttamente nel cestello senza l’uso di un crogiolo. Sono realizzati con fili di tungsteno a uno o più fili. Sono disponibili anche rivestiti di allumina per materiali che si legano ai metalli refrattari.

Alumina Coated Baskets

Tungsten Baskets

I crucible heaters con i crogioli sono una buona opzione quando è necessario depositare una varietà di materiali. In genere è possibile caricare più materiale rispetto a boat standard. Questi riscaldatori sono disponibili a forma di cestello realizzati con filo di tungsteno intrecciato e riscaldatori per crogioli schermati che permettono un riscaldamento più efficiente.

Basket Crucible Heaters

I basket crucible heaters richiedono meno energia rispetto ai rshielded crucible heaters. Si tratta di una buona opzione a basso costo per molti materiali.

Shielded Crucible Heaters

I shielded crucible heaters forniscono un riscaldamento più uniforme ed efficiente rispetto ai basket heaters. Riducono la quantità di calore generato mantenendo la fonte di calore più vicina al crogiolo.

Boat Crucible Heaters

I boat crucible heaters utilizzano la stessa configurazione di una boat in tungsteno standard con un incavo per posizionare un crogiolo.

I crogioli per evaporazione sia termica che a fascio elettronico sono disponibili in una varietà di materiali. Disponibili anche crogioli HTE/LTE per sorgenti di evaporazione termica ad alta/bassa temperatura.

Thermal Crucibles

Sono disponibili crogioli per evaporazione termica in una varietà di materiali. Questi crogioli sono utilizzati con gli shielded crucible heaters o i basket heaters.

Alumina Thermal Crucibles

Boron Nitride Thermal Crucibles

Carbon Thermal Crucibles

Intermetallic Thermal Crucibles

Quartz Thermal Crucibles

Molybdenum Thermal Crucibles

Tantalum Thermal Crucibles

HTE/LTE Crucibles

Crogioli per gli evaporatori ad alta e bassa temperatura disponibili in vari materiali. Crogioli per sorgenti da 1cc e 10cc.

Disponibile in: aluminum oxide (ossido di allumino), boron nitride (nitruro di boro) e in quartz (quarzo).

HTE, 1cc Crucibles

Disponible in: boron nitride (nitruro di boro), pyrolytic boron nitride (nitruro di boro pirolitico), tantalum (tantalio)e tungsten (tungsteno)

Disponibile in: aluminum oxide (ossido di allumino), boron nitride (nitruro di boro), molybdenum (molibdeno), pyrolytic boron nitride (nitruro di boro pirolitico), tantalum (tantalio), tungsten (tungsteno) e quartz (quarzo).