Gestione di gas e liquidi

Poiché i moderni processi del vuoto richiedono flussi di gas regolati, perdite di elio calibrate, acqua di raffreddamento, azoto liquido, aria compressa per il funzionamento delle valvole pneumatiche, la linea di gestione del gas/liquido di KJLC include valvole, regolatori di flusso, tubi di plastica, aria compressa e molti raccordi.

Mass Flow Control / Meters

Un’ampia gamma di Mass Flow Controllers / Meters, per uso generico, a tenuta di elastomero e metallo, con portate fino a 250 slm.

Alicat MCE and MCV Mass Flow Controller (MFC)

Mass flow controllers sono uno strumento fondamentale quando si tratta di qualsiasi processo. Questi strumenti sono basati sulla pressione Alicat MCE e MCV offrono un ampio intervallo di controllo (0,01-100%), un tempo di risposta del sensore rapido (<1 ms) e un'eccezionale precisione. Con una miriade di opzioni aggiuntive e personalizzazioni, tra cui diverse connessioni elettriche e protocolli di comunicazione, la linea Alicat Mass Flow Controller fornirà tutto ciò di cui l'utilizzatore ha bisogno.

MKS® GE50A Digital Mass Flow Controller (MFC)

Il mass flow controller a controllo digitale GE50A è disponibile con I/O RS485, Profibus™, EtherCAT® o DeviceNet™. L’elettronica di controllo digitale utilizza i più recenti algoritmi di controllo MKS per una risposta rapida e ripetibile al setpoint in tutta la gamma di controllo del dispositivo. I tempi di risposta tipici sono dell’ordine di 500 millisecondi. La calibrazione digitale fornisce l’1% della precisione del setpoint sul gas di calibrazione.

MKS® GM50A Digital Mass Flow Controller (MFC) & Meter

Il mass flow controller digitale GM50A è disponibile con I/O analogico (da 0 a 5 VDC o da 4 a 20 mA) o RS485, Profibus™, EtherCAT® o DeviceNet™. L’elettronica di controllo digitale utilizza i più recenti algoritmi di controllo MKS per una risposta rapida e ripetibile al setpoint in tutta la gamma di controllo del dispositivo.

MKS® GV50A Digital Mass Flow Controller (MFC)

Il mass flow controller a controllo digitale GV50A è disponibile con I/O RS485, Profibus™, EtherCAT® o DeviceNet™. L’elettronica di controllo digitale utilizza i più recenti algoritmi di controllo MKS per una risposta rapida e ripetibile al setpoint in tutta la gamma di controllo del dispositivo.

MKS® GM100A Digital Mass Flow Controller (MFC)

Il mass flow controller a controllo digitale GM100A è disponibile con I/O analogico (da 0 a 5 VDC o da 4 a 20 mA) o RS485, Profibus™, EtherCAT® o DeviceNet™. L’elettronica di controllo digitale utilizza i più recenti algoritmi di controllo MKS per una risposta rapida e ripetibile al setpoint in tutta la gamma di controllo del dispositivo.

MKS® GE250A Digital Mass Flow Controller (MFC)

Il GE250A può essere compreso tra 100 e 250 slm (equivalente N2). Il GE250 è disponibile con I/O analogico o I/O digitale utilizzando i più recenti algoritmi di controllo per una risposta rapida e ripetibile al set point.

MKS® 1179C Mass Flow Controller (MFC)

MKS 1179C è un mass flow controller per uso generale progettato per misurare e controllare il flusso di gas in un’ampia varietà di applicazioni. I controller Mass-Flo® 1179C sono disponibili con intervalli di fondo scala da 10 sccm a 20 slm, fornendo un controllo del flusso rapido e ripetibile fino a 0,2 sccm. Può essere utilizzato anche come regolatore di pressione se collegato a un trasduttore di pressione adatto.

MFC Controllers

Controllo e lettura simultanei per un massimo di sei vacuometri e/o sei regolatori di portata massica e una valvola di selezione per la massima versatilità.

Fluid Management

Valvole e raccordi per la gestione sia del Gas che del Liquido. Disponibili opzioni di isolamento e misurazione.

Fluid Feedthroughs

I passanti per fluidi e azoto liquido (LN2) KJLC sono costruiti per consentire facilmente il passaggio di fluidi in un ambiente sotto vuoto per sistemi a circuito aperto o chiuso. I passanti KJLC sono saldati UHV alla flangia specificata dal cliente e sono disponibili in una varietà di diametri di tubo e tipi di terminazione. I passanti LN2 offrono una sezione di tubo aggiuntiva che funge da percorso termico, riducendo l’accumulo di ghiaccio o la condensa che potrebbe verificarsi sul lato atmosferico della flangia. Configurazioni personalizzate sono disponibili su richiesta.

Compressed Air

Sono disponibili solenoidi, tubi e regolatori da utilizzare in combinazione con componenti per vuoto standard.

Adaptive Pressure Control Valves 

Le valvole di controllo adattivo della pressione sono destinate all’uso in combinazione con il manometro capacitivo per regolare la pressione del vuoto all’interno di un recipiente. Il controllo può essere collegato tramite l’interfaccia del computer e viene completato tramite l’azionamento del motore passo-passo.